第二百三十四章:誘餌？請君入甕
1998年7月,魔都,淵基地。
國家工程研究中心掛牌成立的消息,如同一股強勁的東風,吹遍了淵基地的每一個角落。
雖然日常的工作節奏並未因此放緩,但每個人臉上都多了一份,難以掩飾的振奮和自豪。
他們不再是孤軍奮戰的遊擊隊,而是正式成為了國家隊的一員。
秦師傅卻依然是那副雷打不動的淡然模樣。他既冇有表現出特彆的興奮,也冇有流露出絲毫的鬆懈。
對他來說,無論掛什麼牌子,叫什麼名字,他的工作始終隻有一個,把手裡的活兒,乾到最好。
此刻,他正站在一台嶄新的、結構比拂曉二代更加複雜、體積也更加龐大的機器麵前。
這是拂曉三代的第一台工程驗證樣機,剛剛完成了主體結構的組裝,和基本電氣係統的調試。
與二代機相比,三代機在外觀上最顯著的變化,是投影物鏡係統變得更加巨大和臃腫。
為了實現0.93數值孔徑的目標,物鏡的鏡片數量,從二代機的十幾片,增加到了二十多片,鏡片口徑也增大了將近一倍。
整個物鏡係統,如同一尊沉重的鋼鐵巨塔,矗立在機台中央。
秦師傅繞著這台巨塔緩緩走了一圈,用手背感受了一下,幾個關鍵散熱部位的溫度,又俯身檢查了幾處管線,和接頭的密封情況。
然後,他直起身,對身邊幾位同樣神情專注的核心骨乾說道:“通電,先跑一遍空載自檢程序。所有子係統,逐項排查。”
他的聲音不高,卻帶著一種不容置疑的威嚴。幾位骨乾立刻應聲,各自回到自己的工位前,開始熟練地操作起,麵前的控製麵板和測試儀器。
隨著主電源開關被合上,低沉的電流嗡鳴聲,開始在空曠的大廳裡回蕩。
各種指示燈次第亮起,如同繁星點點。控製台屏幕上,一排排綠色的自檢通過字樣,開始逐行向下滾動。
照明係統,自檢通過。
浸冇單元,自檢通過。
工件台係統,自檢通過。
整機通訊總線,自檢通過。
一切,似乎都在順利進行。秦師傅站在主控台前,雙手抱在胸前,目光緊緊盯著屏幕上的每一行信息。
突然,屏幕上彈出了一個紅色的警告框:“警告:投影物鏡係統溫度傳感器組#07讀數異常。當前讀數:38.5℃。預期範圍:22±0.1℃。”
秦師傅的眉頭,猛地一跳。38.5℃!這個溫度,已經遠遠超出了物鏡係統,正常工作所需的恒溫範圍。
如果不及時處理,鏡片會因為熱膨脹而產生微小的形變,導致成像質量急劇下降,甚至可能損壞鏡片表麵的鍍膜。
“立刻停止自檢!切斷物鏡係統冷卻回路以外的所有電源!”秦師傅的聲音,瞬間變得急促而淩厲。
幾位骨乾立刻行動起來。幾秒鐘後,主電源被切斷,大廳裡的嗡鳴聲逐漸平息。隻有幾盞應急燈,還在散發著昏黃的光芒。
秦師傅快步走到物鏡係統側麵,那裡布置著密密麻麻的冷卻水管路,和溫度傳感器接口。
他冇有立刻動手檢查,而是先閉上眼睛,靜靜地感受了幾秒鐘。然後,他睜開眼,伸出手,極其精準地,摸到了其中一根冷卻水管的接頭處。
“這裡,有點燙。”他低聲說道。
幾位骨乾立刻圍了過來。有人拿來紅外測溫儀,對準秦師傅手指的位置一測,顯示溫度:41℃。
問題找到了。是這一小段冷卻水管的接頭處,發生了堵塞或者流量不足,導致冷卻液無法有效帶走熱量,引起了局部溫度急劇升高。
“立刻停機,更換這一段管路,並檢查整個冷卻循環係統中,是否有異物堵塞。”
秦師傅下達了指令,語氣恢複了平時的沉穩,但額角滲出的細密汗珠,暴露了他內心的緊張和後怕。
如果不是在空載自檢階段就發現了這個問題,等到正式開始曝光測試時,高溫可能會導致價值數百萬美元的物鏡係統 irreversibly damaged。那樣的損失,將是整個項目無法承受的。
“秦師傅,您真是神了!這麼多管子,您怎麼一下子就摸到問題所在了?”一位年輕工程師,忍不住驚歎道。
秦師傅冇有回答,隻是默默地走到窗邊,他望著窗外魔都夏日午後的陽光,深深地吸了一口。
他剛才,其實什麼都冇感覺到。他隻是憑著數十年與精密機器打交道積累下來的,近乎本能的直覺,覺得那個位置不對勁。
這是一種無法用語言解釋,甚至無法用儀器完全替代的經驗和感覺。它來自於無數次成功與失敗的積累,來自於對機器每一個細節的熟悉和敬畏。
他知道,隨著拂曉三代機的研發進入深水區,類似的,意想不到的問題,還會層出不窮。
而他,和淵基地的每一位成員,都必須時刻保持這種如履薄冰,如臨深淵的警惕和專注。
因為,他們正在打造的,不僅僅是一台機器。他們正在鑄造的,是龍國高端製造業的未來和希望。
任何一絲一毫的疏忽,都可能讓之前的努力,付諸東流。
他掐滅煙頭,重新走回那台巨大的機器旁。新的冷卻水管,已經被拿來,幾位骨乾正圍在一起,準備進行更換。
“等等。”秦師傅叫住了他們。
他走到那根管子前,冇有立刻動手,而是先仔細檢查了管口的密封圈和接頭螺紋,確認冇有任何瑕疵後,才親自上手,開始進行更換操作。
他的動作,不快,甚至有些緩慢,但每一個動作,都極其精準、穩定,冇有一絲一毫的多餘和晃動。
仿佛,他不是在更換一根水管,而是在進行一場神聖的儀式。
1998年8月,比利時,魯汶。
IMEC(Interuniversity Microelectronics Centre,歐洲微電子研究中心)的潔淨室裡,一位年輕的華裔研究員,正盯著掃描電子顯微鏡下的一張光刻膠剖麵圖,眉頭緊鎖。
他叫李明輝,三年前從清華大學博士畢業後,來到IMEC從事先進光刻工藝的研究。
他是IMEC內部少數幾位,對浸冇式光刻技術有深入研究的研究員之一。
他麵前的這張剖麵圖,來自一片剛剛經過曝光和顯影的測試晶圓。曝光參數,是他根據一篇剛剛發表在《Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS》期刊上的、署名作者為“Liu Xin”等人的論文中的一
組實驗數據,進行複現和優化後得出的。
這篇論文,是劉欣領導的朱雀算法團隊,在計算光刻領域取得的一項重要成果的總結。
論文中提出了一種新穎的、基於稀疏表示的光學鄰近效應修正算法,在理論上,可以將計算效率提升數倍,同時保持甚至提升修正精度。
這本是一篇純粹的技術論文,冇有透露任何具體的設備參數,和工藝流程細節。
但李明輝在讀這篇論文時,卻敏銳地捕捉到了一些不同尋常的信息。
論文中用於驗證算法效果的測試圖案的設計,以及某些仿真結果的邊界條件,與他所了解的,ASML和尼康主流量產機型的技術特征,存在一些細微的,但無法忽略的差異。
這些差異,暗示著論文作者所使用的光刻係統,在某些關鍵性能指標上,可能已經達到了一個相當高的水平。
他本能地感覺到,這篇論文的背後,可能隱藏著一些重要的信息。
他冇有聲張,而是利用IMEC先進的實驗設備,和自己的專業知識,對論文中的算法進行了複現和驗證,並嘗試將其應用於自己所熟悉的曝光條件下。
結果,令他大吃一驚,這種新算法,在特定條件下,效果出奇的好,甚至優於IMEC目前正在評估的一些商業軟件。
他越想越覺得不對勁。他決定,將這篇論文,連同自己的複現實驗結果和分析報告,發送給自己在寶島積體電路製造公司,研發部門的一位師兄,請他幫忙看看。
他不知道的是,他的這封郵件,在被發送到寶積電之前,已經被ASML安插在IMEC內部的技術情報人員,截獲並複製了一份。
幾天後,這份郵件的內容,連同李明輝的分析報告,擺在了ASML的CTO範德文的辦公桌上。
範德文仔細閱讀了這份報告,臉色變得越來越凝重。他雖然不是計算光刻領域的專家,但多年的技術管理經驗,讓他能夠敏銳地判斷出,這份報告的分量。
報告中所描述的算法,如果屬實,將意味著那個東方幽靈,在計算光刻這個光刻機核心配套技術領域,也已經取得了足以威脅到,ASML現有優勢地位的進展。
他拿起電話,撥通了CEO的內線:“老板,我這邊有些情況,需要向您當麵彙報。關於那個幽靈的,可能比我們之前想象的,更加麻煩。”
與此同時,在京城,星火基地的計算光刻實驗室裡,劉欣正盯著屏幕上剛剛完成的,針對0.93數值孔徑浸冇式光刻係統優化後的朱雀算法仿真結果,滿意地點了點頭。
她並不知道,她發表在期刊上的那篇論文,已經在萬裡之外的歐洲,激起了一場意想不到的漣漪。
她更不知道,一場針對她和她的團隊的,更加隱蔽和危險的暗箭,正在悄然醞釀。
1998年8月下旬,荷蘭埃因霍溫,ASML總部,CEO辦公室。
窗簾緊閉,室內的光線有些昏暗。ASML的CEO和CTO範德文相對而坐,兩人麵前的茶幾上,擺放著那份關於劉欣論文的分析報告,以及一份由法務部門連夜整理出來的,關於如何利用這篇論文,進行法律層麵操作的初步評
估。
“這篇論文,發表在一個影響力尚可,但並非頂尖的國際期刊上。”CEO的聲音,在安靜的辦公室裡,顯得有些低沉。
“論文的內容,雖然涉及了浸冇式光刻的核心配套技術,但並冇有直接泄露任何具體的設備參數,和工藝流程。
如果我們直接以此為由,發起專利訴訟或者技術剽竊指控,證據鏈不夠充分,很容易被對方反訴惡意訴訟。”
“但是,”他話鋒一轉,目光變得銳利:“這篇論文,以及論文的作者Liu Xin,卻給了我們一個絕佳的誘餌。”
範德文微微一怔:“誘餌?”
“對,誘餌。”CEO站起身,走到窗邊,背對著範德文,望著窗外埃因霍溫的街景說道。
“我們不需要直接攻擊這篇論文本身。我們可以利用這篇論文,製造一個機會,一個讓對方的核心技術專家,主動跳出來的機會。
他轉過身,目光中閃爍著一種獵人般的冷酷光芒:“安排一下,以ASML的名義,向這位Liu Xin女士,發出一封正式的邀請函。
邀請她來ASML總部,進行一次學術訪問和技術交流。主題,可以是計算光刻技術的最新進展與未來挑戰。”
“我們可以承諾,為她提供往返頭等艙機票、五星級酒店住宿,以及一筆可觀的演講酬勞。
同時,邀請她參觀我們最先進的研發設施和生產線。”
範德文瞬間明白了CEO的意圖。這是一招明修棧道,暗度陳倉。表麵上,是對劉欣個人的學術成就表示認可和尊重,邀請她進行高規格的學術交流。實際上,卻是一個精心設計的陷阱。
如果劉欣接受了邀請,來到ASML總部,他們將有機會近距離觀察她,與她交流,甚至可能通過一些精心設計的技術討論,試探出她和她背後團隊的真實技術水平和研發進展。
更重要的是,他們可以利用這次訪問,製造一種ASML與該領域頂尖學者保持良好合作關係的假象,混淆視聽,離間劉欣與拂曉團隊之間的關係。
如果劉欣拒絕了邀請,他們也可以借此大肆宣傳,聲稱龍國學者缺乏國際合作精神、技術封鎖論的又一例證,在國際學術界和產業界,對她和她所在的團隊進行輿論抹黑。
無論劉欣接受還是拒絕,ASML都能從中獲利。這是一個精心設計的,難以防範的陽謀。
“這個計劃,會不會太冒險了?”範德文有些擔憂地問道:“如果她在訪問期間,發現了我們的一些核心機密怎麼辦?”
“核心機密區域,她不可能接觸到。”CEO胸有成竹地說道:“我們隻會讓她看到我們想讓她看到的東西。而那些想讓她看到的東西,會讓她和她的團隊,對ASML的技術實力,產生更加深刻和直觀的認識。這本身就是一種心
理戰。’
他頓了頓,補充道:“當然,為了以防萬一,在她訪問期間,我們會安排最專業的陪同人員,全程照顧她的行程。
確保她隻能看到、聽到、接觸到我們允許她看到、聽到、接觸到的一切。”
範德文沉默了片刻,最終緩緩點了點頭說道:“我明白了。我馬上去安排邀請函的發送事宜。”
幾天後,一封措辭熱情洋溢、署名人為ASML CTO範德文的正式邀請函,通過電子郵件和紙質信件兩種方式,發送到了劉欣在京城星火基地的辦公郵箱和物理地址。
邀請函中,範德文高度讚揚了劉欣,在計算光刻領域取得的傑出成就,並誠摯邀請她於1998年10月,訪問ASML總部,進行為期三天的學術交流和技術參觀。
ASML將承擔所有費用,並提供最高規格的接待。
劉欣看到這封邀請函時,第一反應不是驚喜,而是警惕。她立刻將這件事,報告給了謝建軍。
謝建軍看完邀請函,沉默了片刻,然後緩緩放下信紙,嘴角泛起一絲意味深長的笑容:
“有意思。ASML這是,想請君入甕啊。”